有投资者向中瓷电子(003031)提问, 公司有产品可以用于光刻机吗?
公司回答表示,您好,公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于刻蚀机、涂胶显影机、离子注入机等半导体关键设备中。
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公司回答表示,您好,公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于刻蚀机、涂胶显影机、离子注入机等半导体关键设备中。
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